标签： 反射镜

俄罗斯科学院微结构物理研究所（通过德米特里・库兹涅佐夫）制定了一套国产极紫外（EUV）光刻设备的长期路线图，该设备工作波长为 11.2 纳米，扩展了该机构去年 12 月披露的信息。新项目从 2026 … Continue reading 三步走冲顶亚10nm！俄罗斯公布EUV光刻机路线图