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快科技11月26日消息，上海芯上微装科技股份有限公司宣布，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200 ）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。 芯上微装表示，这标志着我国在高端半导体光 … Continue reading 国产高端光刻机关键突破！芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运

快科技8月10日消息，日前，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）宣布，其第500台步进光刻机成功交付，标志着我国高端半导体装备产业迈入新阶段。 据了解，先进封装光刻机是芯上微装的核心产品， … Continue reading 成立仅半年 上海芯上微装第500台步进光刻机交付