标签： 刻蚀

除了大家都知道的光刻机，半导体设备生产中还需要各种设备，国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备，其5nm刻蚀机已经批量生产，用于台积电的5nm生产线中。 中微半导体上周末发布了2019年财报 … Continue reading 国产5nm半导体设备已获得台积电订单 5nm以下技术研发中