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《科创板日报》15日讯，阿斯麦（ASML）首席执行官克里斯托夫·富凯表示，公司为High-NA EUV（高数值孔径极紫外光刻机）所设计的光刻改进方案已得到验证，成像效果极佳，分辨率非常出色。目前公司正 … 继续阅读 阿斯麦CEO：High-NA EUV光刻改进方案已得到验证 预计2027至2028年大规模量产