3月29日,清华大学设备采购信息平台发布了一则等离子体刻蚀机采购项目的公开招标公告。 据介绍,该等离子体刻蚀机将用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆,从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。 ...
  等离子体在稀薄物质里的电导率可以说是无敌,但是其导电性能跟金属比还是差得远。   等离子体(又称电浆)是在固态、液态和气态以外的第四大物质状态,其特性与前三者截然不同。 ...

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