IT之家 12 月 22 日消息，比利时微电子研究中心（IMEC）已成功利用阿斯麦（ASML）最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项 … Continue reading 阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造，推动分子传感技术发展
IT之家 12 月 22 日消息，比利时微电子研究中心（IMEC）已成功利用阿斯麦（ASML）最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项 … Continue reading 阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造，推动分子传感技术发展