标签： 压印

快科技12月18日消息，虽然在EUV光刻机上已经出局，但日本依然是全球第二大光刻机供应商，这几年日本公司也在憋足劲开发可替代EUV的光刻方案，他们选择了NIL纳米压印技术路线。 此前日本佳能、尼康等公 … Continue reading 可替代EUV光刻机 工艺直逼1.4nm 日本开发全新纳米压印技术