8月14日，据中国科学院上海微系统所消息，近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作，通过“万能离子刀”剥离转移技术在六吋图形化SiN晶圆上集成了高质量的铌酸锂薄膜， … Continue reading 上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展
8月14日，据中国科学院上海微系统所消息，近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作，通过“万能离子刀”剥离转移技术在六吋图形化SiN晶圆上集成了高质量的铌酸锂薄膜， … Continue reading 上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展