据semiwiki日前的报道，截至 2022 年第一季度，ASML 已出货 136 个 EUV 系统，约曝光7000 万个晶圆已曝光（如下图）。 台积电在早前的技术大会上则表示，在全球已经安装的EUV … Continue reading 10年迭代缩短为3年：ASML EUV光刻机大跃进
据semiwiki日前的报道，截至 2022 年第一季度，ASML 已出货 136 个 EUV 系统，约曝光7000 万个晶圆已曝光（如下图）。 台积电在早前的技术大会上则表示，在全球已经安装的EUV … Continue reading 10年迭代缩短为3年：ASML EUV光刻机大跃进