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IT之家 11 月 26 日消息，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）昨日宣布：公司自主研发的首台 350nm 步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。 芯上微装表 … Continue reading 国产高端光刻机再突破：上海芯上微装首台350nm步进光刻机发运