标签： euv光刻胶

快科技11月3日消息，EUV工艺是5nm节点之后无法绕过的先进工艺，EUV光刻机只有荷兰ASML能产，但日本在EUV光刻胶领域很有优势，针对2nm及以下节点，日本三大化工巨头都在积极扩产。 日本半导体 … 继续阅读 2nm工艺志在必得 日本三大EUV光刻胶巨头巨资扩产