半导体中,作为绝缘层的材料通常称为什么—>介电质(dielectric) T/C(传送Transfer Chamber )的功能:提供一个真空环境,以利机器手臂在反应腔与晶舟间传送 … Continue reading 半导体FAB里基本的常识简介
半导体中,作为绝缘层的材料通常称为什么—>介电质(dielectric) T/C(传送Transfer Chamber )的功能:提供一个真空环境,以利机器手臂在反应腔与晶舟间传送 … Continue reading 半导体FAB里基本的常识简介