中科院研发新型激光光刻技术

　　荷兰 ASML 公司是全球唯一能生产 EUV 光刻机的公司，他们之前表态 7nm 以下工艺都需要 EUV 光刻机才行。现在中科院苏州纳米所的团队开发了一种新的激光光刻技术，不需要使用 EUV 技术 … 继续阅读中科院研发新型激光光刻技术：不用EUV 直击5nm